半导体职业中运用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有很多有机物成分，在工艺过程中，这些有机溶剂大部分经过蒸发成为废气排放。其废气的主体是VOCs，一起废气中还混合了HCl、氨、HF等风险污染物，别离和处理难度比较大。
现在国家没有专门关于半导体职业的国家规范，全部根据《中华人民共和国环境保护法》（2015-01-01）《环境空气质量衡量原则》（GB3095-2012）《大气污染物归纳排放规范》（GB16297-1996）等相关文件。
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